雙面研磨機(jī)被用于研磨平行的平面時要比平面研磨機(jī)研磨單面的時要多很多。所以工件的上下兩個面都是可以被研磨到的，并且雙面研磨機(jī)在研磨的時候都會做著將研磨盤平行的調(diào)節(jié)，這時工件上所存在的一些偏差就會自動的被抵消掉了。 在研磨時，通常把對角上放置的工件做一下調(diào)整的話，就會發(fā)現(xiàn)這個研磨的過程會加速的進(jìn)行著，在平面研磨機(jī)上平行著移動時的路程與速度都是一樣的。因此會發(fā)現(xiàn)，所被研磨下來的量也是一樣的。 在研磨是研磨工件如硅片是一個彈性體，所以在研磨的時候就會不均勻，并且硅片還有可能發(fā)生一些平行度方面的偏差，而這個偏差一般是控制在工件與研磨劑的微小的彈性變形的范圍，還有一個因素在于壓力的分配的不均，研磨盤也會出現(xiàn)磨耗的不均，需要時常的對研磨盤進(jìn)行修整，才不至于使工件的平行度慢慢的變差。 需要雙面研磨機(jī)的兩面都做到平面，就需要工件與研磨盤做著相對的運(yùn)動，是一樣的，研磨劑的發(fā)布也是不均勻的，一般研磨盤上要多一點(diǎn)，此外工件上的重量對研磨的壓力也是有影響的，這個因素的影響是很小的。 |
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