超精密工藝除了有研磨與拋光的特點(diǎn)外，還應(yīng)該具有超精加工的特點(diǎn)，其加工運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性是很差的，往往是會(huì)產(chǎn)生一定的抖震的現(xiàn)象。 平面研磨機(jī)是采用了一種高運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性的旋擺機(jī)構(gòu)，其加工的運(yùn)動(dòng)是極其平穩(wěn)的，就不會(huì)產(chǎn)生任何的都震的，超精加工的磨具是使用固體石油，其磨粒一般都是古董的，近似于磨削，不可能同時(shí)發(fā)揮切削作用的，其超精加工只是采用拋光液進(jìn)行拋光而不是直接的泡在液體的介質(zhì)中。 平面研磨機(jī)從加工的效果方面來(lái)看的話，超精密研磨拋光是有與超級(jí)加工近似的高效率，但是其加工的質(zhì)量要比超精加工高很多的，超精密研磨拋光與超精加工運(yùn)動(dòng)均為復(fù)雜的合成的運(yùn)動(dòng)，所以其超精研磨拋光加工又可以看做是特殊形式高質(zhì)量的平面超精加工。 加工運(yùn)動(dòng)相比圖 超精密研磨拋光機(jī)加工與平面超精加工運(yùn)動(dòng)相比圖。其平面研磨機(jī)所采用的運(yùn)動(dòng)與傳統(tǒng)的加工軌跡有著一些不同之處，傳統(tǒng)的加工是具有短行程往復(fù)運(yùn)動(dòng)與構(gòu)建的運(yùn)動(dòng)相疊加合成的運(yùn)動(dòng)，而超精密平面研磨機(jī)所采用的軌跡是主要是圓，傳統(tǒng)加工的振動(dòng)是高拋的，是不符合其超精密加工的原則的，這也是超精加工不容易獲得理想的加工效果。 |
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