研磨加工時(shí),磨輪在選擇時(shí)需要考慮的幾個(gè)因素,以研磨硅片為例。 1、平面研磨機(jī)選擇研磨的材料形式一般的原則是,硬質(zhì)的材料的話,需要硬度較軟的磨輪;軟質(zhì)材料的話,需要較硬的磨輪最好,選擇磨料、顆粒大小、硬度以及磨輪黏結(jié)等規(guī)定需求。 2、需要磨掉的材料量因素,為了能夠快速的磨掉材料面磨之后表面組織不甚重要。 3、表面組織因素。硅片精磨表面的時(shí)候,需要憑借所使用的磨粒的大小而定好壞,在精密研磨的時(shí)候,磨輪經(jīng)過了適當(dāng)?shù)恼闻c修整,可維持精磨表面而不至于是硅片表面被磨去太多,進(jìn)行精磨時(shí),這是經(jīng)常發(fā)生的。 4、磨粒的接觸面積,磨輪的接觸面積越大的話,需要的磨輪的硬度也就越軟。 5、平面研磨機(jī)進(jìn)行研磨時(shí)的速度以及進(jìn)刀量,粗磨時(shí),用低工作速率重內(nèi)向進(jìn)刀—快速橫移;容易脆的工件,為了使散熱,用高工作速率—請(qǐng)內(nèi)向進(jìn)刀;如果是磨輪的研磨作用堅(jiān)硬光滑的話,就需要較高的工作頭速度以及較高的移動(dòng)速度;磨輪的作用是軟而且磨耗的比較的迅速,就需要使用較低的工作頭速度以及較低的移動(dòng)速度。 以上五個(gè)以上是硅片研磨機(jī)或者是其他的研磨機(jī)在選擇磨輪的時(shí)候需要注意的幾個(gè)方面。 |