在當(dāng)硅片研磨機(jī)對(duì)硅片的研磨拋光到一定程度的時(shí)候就會(huì)出現(xiàn)其拋光頭中孔隙中的磨粒達(dá)到飽和。由于壓力以及研磨力的作用使得其鑲嵌的磨粒被壓實(shí)，呈固結(jié)或者是半固結(jié)的狀態(tài)，會(huì)出現(xiàn)被填平的這種現(xiàn)象。 這時(shí)會(huì)發(fā)現(xiàn)硅片研磨機(jī)上面的硬度會(huì)進(jìn)一步的加大，其在研磨拋光液中被研磨，達(dá)到修整了研磨拋光頭的端面，也使得其研磨面的表面的粗糙度出現(xiàn)了很大的改善，由于鑲嵌不是很牢固的磨粒還會(huì)出現(xiàn)不牢固脫落的現(xiàn)象這就出現(xiàn)了孔隙研磨的力度會(huì)重新的鋒利起來(lái)，但是其總的趨勢(shì)是沒(méi)有發(fā)生任何的改變的，磨粒被壓碎、磨的平滑，其切削的作用也會(huì)出現(xiàn)到極小的程度。 研磨拋光頭與硅片的主要的作用是摩擦，其硅片研磨機(jī)與工件表面存在著相互的修整作用。而這時(shí)也會(huì)發(fā)現(xiàn)其粗糙的程度會(huì)降低，變細(xì)。
所以，在這合格階段中，實(shí)際上是硅片研磨機(jī)中的頭與硅片之間的一個(gè)相互修整的過(guò)程，直到出現(xiàn)飽和到鈍化為止。 |
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