在平面研磨機(jī)新的研發(fā)的道路上
隨之微電子、光電子、激光技術(shù)的飛快發(fā)展,工業(yè)上對材質(zhì)表面的加工要求越來越高,越來越精密。那么只有不斷在研發(fā)的道路上前進(jìn),才能緊緊跟住社會的腳步,但要求的是,研發(fā)的技術(shù)要能在其中起到必然的作用。
研磨在其中起到的作用是絕對的也是相對的,它在精密、超精密加工中的技術(shù),在很多材料上都比較合適。而且在加工精度上差不多能夠達(dá)到加工精度的極限,而且在操作上相對于其他機(jī)械而言比較簡單。
超精密研磨加工技術(shù),以不改變工件材料的物理特性為前提,是為了獲得更好的表面完整性、工件精度與平面度。研磨通常作為拋光加工的前道工序,是為了提高工件的表面精度并在一定程度上降低表面粗糙度,拋光是進(jìn)一步完善工件的表面精度。
研磨是利用磨具通過磨料作用于工件表面,進(jìn)行微量加工的過程。研磨工件表面的尺寸精度、形位精度、研磨工具的壽命及研磨效率等,在很大程度上取決于研磨運動。為使工件表面研磨均勻,從運動學(xué)角度歸納出如下的平面研磨最佳運動學(xué)條件:一·工件相對研具作平面運動,應(yīng)保證工件被研磨表面上各點相對研具均有相同或相近的研磨軌跡;二·研磨運動是由工件與研具之間的相對運動實現(xiàn)的,工件表面上各點的研磨運動速度應(yīng)盡可能相同;三·研磨運動方向應(yīng)不斷變化,研磨紋路交錯多變,以利于工件加工表面粗糙度的降低,但應(yīng)盡量避免工件被研磨表面上各點相對研具的研磨軌跡曲率變化過大;四·研具或拋光盤工作表面的形狀精度會反映到工件表面上,所以工件的運動軌跡應(yīng)遍及整個研具表面并且分布均勻,以利于研具的均勻磨損;五·工件相對研具在被研磨材料的去除方向上具有運動自由度,這樣可以避免因研磨機(jī)械的導(dǎo)向精度不高而引起誤差。
研磨軌跡的均勻性的提高有利于工件平面度的改善,但均勻的研磨軌跡并不足以保證工件被加工表面均勻的材料去除,原因是,同一軌跡上的各點可能有不同的磨粒。
研磨在其中起到的作用是絕對的也是相對的,它在精密、超精密加工中的技術(shù),在很多材料上都比較合適。而且在加工精度上差不多能夠達(dá)到加工精度的極限,而且在操作上相對于其他機(jī)械而言比較簡單。
超精密研磨加工技術(shù),以不改變工件材料的物理特性為前提,是為了獲得更好的表面完整性、工件精度與平面度。研磨通常作為拋光加工的前道工序,是為了提高工件的表面精度并在一定程度上降低表面粗糙度,拋光是進(jìn)一步完善工件的表面精度。
研磨是利用磨具通過磨料作用于工件表面,進(jìn)行微量加工的過程。研磨工件表面的尺寸精度、形位精度、研磨工具的壽命及研磨效率等,在很大程度上取決于研磨運動。為使工件表面研磨均勻,從運動學(xué)角度歸納出如下的平面研磨最佳運動學(xué)條件:一·工件相對研具作平面運動,應(yīng)保證工件被研磨表面上各點相對研具均有相同或相近的研磨軌跡;二·研磨運動是由工件與研具之間的相對運動實現(xiàn)的,工件表面上各點的研磨運動速度應(yīng)盡可能相同;三·研磨運動方向應(yīng)不斷變化,研磨紋路交錯多變,以利于工件加工表面粗糙度的降低,但應(yīng)盡量避免工件被研磨表面上各點相對研具的研磨軌跡曲率變化過大;四·研具或拋光盤工作表面的形狀精度會反映到工件表面上,所以工件的運動軌跡應(yīng)遍及整個研具表面并且分布均勻,以利于研具的均勻磨損;五·工件相對研具在被研磨材料的去除方向上具有運動自由度,這樣可以避免因研磨機(jī)械的導(dǎo)向精度不高而引起誤差。
研磨軌跡的均勻性的提高有利于工件平面度的改善,但均勻的研磨軌跡并不足以保證工件被加工表面均勻的材料去除,原因是,同一軌跡上的各點可能有不同的磨粒。
結(jié)合現(xiàn)有平面研磨機(jī),根據(jù)研磨最佳運動學(xué)條件,創(chuàng)造性的研制了新型行星輪式恒速率變向平面研磨機(jī)。利用研磨機(jī),通過大量研磨實驗,探索出了研磨效率高、表面質(zhì)量好的研磨方案,取得了很好的研磨效果。
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